半導體潔凈車(chē)間差壓控制原理

潔凈車(chē)間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。

半導體潔凈車(chē)間差壓控制原理.jpg

當送入無(wú)塵室內的空氣量適當的大于回風(fēng)和排風(fēng)量時(shí),室內則可維持一定的正壓值。此時(shí),在潔凈車(chē)間內外靜壓差的作用下,通過(guò)圍護結構不嚴密處向外滲漏的風(fēng)量與機械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。

潔凈車(chē)間壓差維持的難題在于機械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動(dòng)態(tài)變化的。對于潔凈空調系統來(lái)說(shuō),過(guò)濾器積塵會(huì )造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加,從而影響風(fēng)量;排風(fēng)設備的時(shí)開(kāi)時(shí)停也會(huì )導致排風(fēng)量的變化;此外,與樓道、室外相鄰還會(huì )因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。

因此潔凈車(chē)間的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查,并依次對新、送、回、排風(fēng)通路的閥門(mén)作出相應的調整。而博益公司的差壓計壓力傳感器可以很好的監控潔凈車(chē)間的風(fēng)量動(dòng)態(tài)變化,差壓計和壓力傳感器具有響應速度快、精度高、耐腐蝕、使用壽命高等特點(diǎn)。

部分轉載自http://www.rundejinghua.net